南大光电：公司电子特气主要用于半导体器件制造中的掺杂、离子注入、刻蚀清洗等工艺
2023-03-24 15:42:34
来源：
同花顺iNews
同花顺（300033）金融研究中心3月24日讯，有投资者向南大光电（300346）提问， 请问公司的电子特气最高可以用于多少纳米的芯片制造？
公司回答表示，感谢您的关注！公司电子特气主要用于半导体器件制造中的掺杂、离子注入、刻蚀清洗等工艺。
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