机器人：目前公司已成功研发多款新型双臂真空机械手，部分产品已进入客户端验证阶段，预计未来将成为公司半导体业务新的增长点

2023-06-13 16:19:08 来源：同花顺iNews

　　同花顺（300033）金融研究中心6月13日讯，有投资者向机器人（300024）提问，董秘，您好！请问贵公司有半导体设备的订单？请回复，谢谢。

　　公司回答表示，您好，公司半导体装备业务产品主要为自主研发的真空机械手及集束型设备，包括：大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式炉等工艺环节及领域，服务的下游行业是半导体工艺设备厂商。2022年度，公司半导体设备产业化应用初具规模，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，为客户产业链及供应链安全的稳定提供多元保障，品牌效应显现。真空机械手方面，两轴真空直驱机械手产品，已实现小批量、多批次应用在客户端，公司目前已完成13种两轴真空直驱机械手平台的研发。三轴真空直驱机械手产品，处于客户端验证阶段，其结合全新控制器软硬件平台的应用，可支撑下游客户的长期应用。四轴真空直驱机械手产品处于研发阶段。目前，公司已成功研发多款新型双臂真空机械手，部分产品已进入客户端验证阶段，预计未来将成为公司半导体业务新的增长点。2022年度，公司半导体装备业务实现收入2.44亿元。公司半导体装备业务的具体情况，请您查阅公司《2022年年度报告》。

　　点击进入互动平台查看更多回复信息

关注同花顺财经（ths518），获取更多机会

0人