奥普光电：光栅尺是半导体设备的核心部件，其精度要求取决于整机的技术指标需求
2024-02-21 18:04:22
来源：
同花顺iNews
同花顺（300033）金融研究中心02月21日讯，有投资者向奥普光电（002338）提问， 请问老师，贵司能否判定高精尺是否能用于DUV光刻机吗？超精尺用于EUV光刻机？
公司回答表示，光栅尺是半导体设备的核心部件，其精度要求取决于整机的技术指标需求。感谢关注。
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