英诺激光：在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术

2024-10-21 16:18:04 来源： 同花顺iNews
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　　同花顺（300033）金融研究中心10月21日讯，有投资者向英诺激光（301021）提问， 领导您好，公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目与光刻机光源有关系吗，能不能运用到光刻机，谢谢。

　　公司回答表示，尊敬的投资者，您好！在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。感谢您的关注！

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