国林科技:公司电子级超纯臭氧气体发生器可用于光刻胶去除和多种清洁应用

2024-10-29 15:18:01 来源: 同花顺iNews

  同花顺300033)金融研究中心10月29日讯,有投资者向国林科技300786)提问, 贵公司的产品哪些可以运用到光刻胶和光刻机领域?

  公司回答表示,尊敬的投资者,您好。公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧,臭氧在电子工业领域可被广泛用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光 刻胶去除和多种清洁应用;公司暂未涉及光 刻机业务。感谢您的关注。

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