国林科技：公司电子级超纯臭氧气体发生器可用于光刻胶去除和多种清洁应用

2024-10-29 15:18:01 来源： 同花顺iNews
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　　同花顺（300033）金融研究中心10月29日讯，有投资者向国林科技（300786）提问， 贵公司的产品哪些可以运用到光刻胶和光刻机领域？

　　公司回答表示，尊敬的投资者，您好。公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧，臭氧在电子工业领域可被广泛用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光 刻胶去除和多种清洁应用；公司暂未涉及光 刻机业务。感谢您的关注。

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