同花顺（300033）金融研究中心11月28日讯，有投资者向至纯科技（603690）提问， 董秘您好！公司的高纯工艺设备在国内处于什么水平？在28纳米芯片制程中能替代进口设备吗？

公司回答表示，以支持设备为主的系统集成业务一直保持持续增长，公司已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，目前支持设备业务量接近系统集成业务总量的 40%，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固。据统计，公司高纯工艺业务在国内集成电路市场占比超过40%。

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