同花顺(300033)金融研究中心01月07日讯,有投资者向美迪凯(688079)提问, 贵司2023年曾耗费7000多万购置佳能光刻机(886054),请问目前贵司拥有的佳能光刻机(886054)最先进的是多少纳米的?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好!公司2023年购置的6英寸、8英寸150nm节点的KrF光刻机(886054)各一台,已经实现量产。12英寸 90nm节点 KrF光刻机(886054)已经到厂,安装调试中。感谢您的关注!

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公司回答表示,尊敬的投资者,您好!公司2023年购置的6英寸、8英寸150nm节点的KrF光刻机(886054)各一台,已经实现量产。12英寸 90nm节点 KrF光刻机(886054)已经到厂,安装调试中。感谢您的关注!