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英诺激光:“高功率薄片激光器”项目处在开发过程中
2025-02-18 11:33:14
来源:同花顺iNews
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同花顺(300033)金融研究中心02月18日讯,有投资者向英诺激光(301021)提问, 公司在问董秘里,回答尊敬的投资者,您好!在半导体(881121)领域,大能量、高重频超快激光是支撑 EUV光源预脉冲的核心技术。是否公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目开发的EUV光源预脉冲的有可能应用到核心技术刻机光源

公司回答表示,尊敬的投资者,您好!“高功率薄片激光器”项目处在开发过程中。感谢您的关注!

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