同花顺(300033)金融研究中心05月06日讯,有投资者向国林科技(300786)提问, 公司半导体设备(884229)在原子层刻蚀(ALE)和原子层沉积(ALD)领域的产品有哪些?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体(881121)行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体(881121)目前主营业务产品包括:臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体(881121)级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等,可应用于半导体(881121)、光伏、电子光电等微观制程领域,目前占公司营业收入比重较小。感谢您的关注。
