力合科技：系统目前已应用于半导体车间空气监测
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同花顺iNews
同花顺（300033）金融研究中心02月03日讯，有投资者向力合科技（300800）提问， 参观中芯国际的半导体制造生产车间，了解到力合科技的GC-MS设备已应用于半导体洁净车间的空气监测，力合科技何时拥有相关半导体洁净车间的技术能力？
公司回答表示，尊敬的投资者，您好！公司自主研发的LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统，高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件，通过创新设计、多平台软件协同工作，可连续监测100余种VOCs组分（包括PAMS57项、TO-15、醛酮类等），实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注！
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