同花顺(300033)金融研究中心03月02日讯,有投资者向丰茂股份(301459)提问, 尊敬的董秘您好!贵司EPS精密传动技术在纳米级定位、高速扫描与超低振动控制方面已达国际先进水平,该技术是否具备应用于光刻机工件台/掩模台核心精密传动环节的潜力?公司是否正布局相关领域,以助力我国高端半导体装备自主可控,实现利民、利企、利国的产业升级目标?谢谢回复!祝您生活愉快!
公司回答表示,尊敬的投资者,您好!公司和吉林大学合作突破的EPS带传动系统未应用于光刻机领域。感谢您的关注!
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