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华特气体:公司是国内唯一一家多款稀混光刻气(其中2款含有微量氟)同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业
2026-04-15 15:45:08
来源:同花顺iNews
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华特气体--
光刻机--
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同花顺(300033)金融研究中心04月15日讯,有投资者向华特气体(688268)提问, 董秘你好 贵公司华特气体(688268)是国内唯一双认证的电子特气企业,其6N半导体(881121)级氦气,已通过光刻机(886054)认证,并进入全球顶尖晶圆厂供应链,这是真的吗?还有公司25年底投产的135吨氦气生产线,是全部投产6N半导体(881121)氦气的产品生产吗?

公司回答表示,尊敬的投资者,您好!公司是国内唯一一家多款稀混光刻气(其中2款含有微量氟)同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业,相关产品已在各大半导体(881121)产线上规模化应用,并非“氦气”产品。感谢您的关注。

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