同花顺(300033)金融研究中心06月12日讯,有投资者向华工科技(000988)提问, 贵司高端晶圆激光加工装备成功导入世界级存储晶圆量产线,是不是跟罗博特科(300757)合作开发的?
公司回答表示,投资者您好,面向第三代化合物半导体(881121)领域,公司通过自主研发+产业链合作的形式,开发了覆盖前、后道制程的10套装备,包括晶圆表面切割智能装备、晶圆隐形切割智能装备、晶圆改质智能装备、全自动晶圆退火装备、晶圆衬底及外延量测装备等产品。目前,公司自主研发的12英寸高端晶圆激光加工装备已成功导入半导体(881121)行业头部客户。感谢您对公司的关注。
