同花顺（300033）金融研究中心06月18日讯，有投资者向南大光电（300346）提问， 请问贵公司的三氟化氮纯度等级为多少N？总产能如何，是否达产？主要用途是什么，是否可以应用于高纯度六氟化钨的制造？
公司回答表示，感谢您的关注！公司三氟化氮产品主要应用于IC、LCD制造中的等离子蚀刻和腔体清洗环节，现有产能9200吨。
南大光电：公司三氟化氮产品主要应用于IC、LCD制造中的等离子蚀刻和腔体清洗环节
2026-06-18 17:06:02
来源：同花顺iNews
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