同花顺(300033)金融研究中心08月14日讯,有投资者向联合化学(301209)提问, 董秘您好,请问参股子公司米莱芯程本次交付的光刻机(886054)成套光学系统,从技术原理层面理论上可否适配KrF 248nm光刻设备,实现110nm制程曝光;同时公司是否具备干式ArF 193nm光学系统相关技术储备?
公司回答表示,尊敬的投资者您好,公司投资参股公司米莱芯程业务正在稳步进行中,后续若有涉及上市公司信息披露义务的,公司将严格按照相关规定履行信息披露义务。感谢您的关注!
同花顺(300033)金融研究中心08月14日讯,有投资者向联合化学(301209)提问, 董秘您好,请问参股子公司米莱芯程本次交付的光刻机(886054)成套光学系统,从技术原理层面理论上可否适配KrF 248nm光刻设备,实现110nm制程曝光;同时公司是否具备干式ArF 193nm光学系统相关技术储备?
公司回答表示,尊敬的投资者您好,公司投资参股公司米莱芯程业务正在稳步进行中,后续若有涉及上市公司信息披露义务的,公司将严格按照相关规定履行信息披露义务。感谢您的关注!