同花顺(300033)金融研究中心09月09日讯,有投资者向百傲化学(603360)提问, 芯慧联的涂胶显影 湿法清洗 电镀设备,公司口径有不一致,一会说验证 一会说自研 一会说有订单, 请澄清一下,目前涂胶显影到底是还在研发还是已经在客户端验证?涂胶显影是单一设备还是覆盖了多个工艺节点?
公司回答表示,尊敬的投资者,您好。公司半导体(881121)业务自研设备方面,单片式湿法清洗设备目前已获客户订单,涂胶显影设备正在协同头部FAB厂持续推进工艺验证工作,电镀设备已达到Bate机阶段,大世代干法刻蚀设备已完成整机及核心子系统全方案设计,核心零部件进入加工采购阶段,目前芯慧联自研业务正按照预期进度稳步推进,进展顺利。感谢您对本公司的关注。
