同花顺(300033)金融研究中心09月24日讯,有投资者向恒星科技(002132)提问, 承明光电与河南科学院合作,联合研发CVD(气相沉积)和ALD(原子层沉积)技术所需前驱体材料,覆盖铝基、镓基、硅基、氨基、氧族等100余种高纯电子化学品(881172)。目标是支撑7nm/5nm/3nm先进制程,以及第三代半导体(885908)(GaN)、第四代半导体(881121)(氧化镓)关键薄膜生长?
公司回答表示,尊敬的投资者您好,经了解,承明光电委托河南省科学院碳基复合材料研究院主要进行MO源系列电子级产品及ALD前驱体材料的研发,目前前述项目尚在实验研发阶段。感谢您对公司的关注!
