同花顺(300033)金融研究中心09月24日讯,有投资者向至纯科技(603690)提问, 你好,贵司旗下S300D 12寸单片式清洗设备,是否已经批量应用于国内先进制程生产线, 目前该设备是否有助于高带宽HBM存储芯片(886042)等高端芯片国产化进程?
公司回答表示,您好,公司半导体(881121)湿法设备可用于HBM芯片生产制造。公司半导体(881121)湿法设备聚焦晶圆制造的前道工艺,主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后,能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体(881121)特色工艺等多个细分领域的市场需求,在 28 纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。
