同花顺（300033）金融研究中心10月21日讯，有投资者向华特气体（688268）提问， 请问公司在第三代半导体（885908）、先进制程芯片制造用的特种气体研发上，有哪些技术布局和突破？
公司回答表示，尊敬的投资者，您好！在第三代功率器件半导体（881121）领域，公司抢占市场先机，提前布局碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等新型材料生产所需特种气体的研发与生产，产品完全满足下游客户需求，成功进入全国最大的氮化镓厂和碳化硅厂供应链。在先进制程方面，公司超过20个产品已批量供应先进工艺，实现了先进制程特种气体的国产替代。感谢您的关注。
