芯碁微装：量产后产能效率将大幅提升，产业应用范围将非常广阔

2024-12-05 16:09:01 来源： 同花顺iNews
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　　同花顺（300033）金融研究中心12月05日讯，有投资者向芯碁微装提问， 请问公司的光刻机设备，未来会达到14纳米的精度吗？

　　公司回答表示，尊敬的投资者您好！公司是基于DMD（数字微镜器件）的直写光刻技术，DMD芯片的精度决定了产品精度，提升产品精度上首选方案是采用精度更高的DMD，目前市场能够量产的DMD最高精度在5.4μm，这种精度的产能已远超传统曝光机。如果要更精细的线宽，就要采用微透镜阵列（MLA）来升级，这种方式对于直写光刻技术升级和改造发展贡献会很大，量产后产能效率将大幅提升，产业应用范围将非常广阔，感谢关注！

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