上海新阳：在北方集成的光刻机为ASML-1400，进行ArF验证开发

2025-02-12 15:51:05 来源： 同花顺iNews
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　　同花顺（300033）金融研究中心02月12日讯，有投资者向上海新阳（300236）提问， 董秘您好，贵司在北方集成的光刻机正在验证的光刻胶是KRF，ARF还是两种都有？

　　公司回答表示，尊敬的投资者：你好！在北方集成的光刻机为ASML-1400，进行ArF验证开发。

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